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拓荊科技股份有限公司主要從事高端半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和技術(shù)服務(wù)。公司主要產(chǎn)品為半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備包括PECVD設(shè)備、ALD設(shè)備及SACVD設(shè)備三個系列。公司是國內(nèi)唯一一家產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的集成電路PECVD、SACVD設(shè)備廠商,以前后兩任董事長為核心的五名國家級海外高層次專家組建起一支國際化的技術(shù)團隊,形成了三大類半導(dǎo)體薄膜設(shè)備產(chǎn)品系列,先后四次承擔(dān)國家重大科技專項/課題,被中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會評為2016年度、2017年度、2019年度“中國半導(dǎo)體設(shè)備五強企業(yè)”。公司獲得2017年遼寧省政府頒發(fā)的“遼寧省科學(xué)技術(shù)進步一等獎”,中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會2016年度“中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品”認(rèn)證,2019年國家知識產(chǎn)權(quán)局頒發(fā)的“國家知識產(chǎn)權(quán)示范企業(yè)”稱號,2021年中國集成電路創(chuàng)新聯(lián)盟頒發(fā)的“技術(shù)創(chuàng)新獎”,中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會頒發(fā)的2016年、2017年、2019年“中國半導(dǎo)體設(shè)備五強企業(yè)”稱號。
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